[发明专利]一种基于CCD成像的激光加工和定焦装置和方法

摘要

本发明涉及激光加工技术领域，尤其公开了一种基于CCD成像的激光加工和定焦装置和方法。本装置包括激光器、扩束系统、扫描振镜、分光系统、聚焦镜及调焦系统。激光器自带有指示红光。分光系统用于将指示红光在工件表面的反射光反射进调焦系统。调焦系统用于判断焦点位置并控制聚焦镜位置实现调焦。本发明利用激光器自带的指示红光，通过一个角度可调的分光系统实现了加工状态与调焦状态的快速切换；通过直接调节聚焦镜位置改变成像清晰度，进而实现对焦。不仅对加工光路影响小、结构简单，而且易于操作，定焦精度高；可实现现场定焦，大大提高了加工效率。

主权项

一种激光加工和定焦装置，其至少包括：用于发射激光束的激光器；用于对所述激光束进行扩束和准直的扩束系统；用于改变所述激光束的位置的扫描振镜；用于将所述激光束进行汇聚的聚焦镜；所述激光器发射的激光束通过所述扩束系统进行扩束和准直之后，进而通过所述扫描振镜改变方向进入所述聚焦镜进行聚焦；其特征在于：所述激光器带有指示红光；所述装置还包括用于判断焦点位置并控制所述聚焦镜的位置实现调焦的调焦系统；用于将指示红光在工件表面的反射光反射进调焦系统的分光系统；所述分光系统设置于所述扫描振镜与所述聚焦镜之间；所述分光系统包括分光镜和旋转机构；所述分光镜一端固定在所述旋转机构上；所述指示红光依次通过所述扩束系统、扫描振镜、分光系统、聚焦镜到达工件表面；所述指示红光在工件表面的反射光经过所述分光镜进入所述调焦系统。