[发明专利]太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置在审
| 申请号： | 201711084864.6 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN107871698A | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 赵景平,张春雨 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置，编辑方法包括在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。由于将工艺编辑终端与生产设备分隔开，而非使用现场的生产设备进行工艺编辑，降低了生产设备周边人员获取关键工艺数据的可能性，并且可以在编辑好关键工艺数据后根据指定的生产设备的硬件信息对关键工艺数据进行加密，由于硬件信息独一无二的特性，使得关键工艺文件不易被破解，大大增加了数据安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 生产 设备 工艺 编辑 获取 保护 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池生产设备的工艺编辑方法，其特征在于，包括：在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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