[发明专利]一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜

摘要

本发明涉及一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜装置，属于太赫兹技术领域。该装置包括飞秒脉冲激光器、光纤耦合分束器、第一光纤、第二光纤、太赫兹发射和接收模块、延时线模块、可见光源、可见光显微镜、三维平移样品台、可调电压源、电流放大器、锁相放大器和控制电脑。太赫兹发射和接收模块包含太赫兹发射天线、太赫兹接收天线和激光耦合聚焦元件。该装置结构简单且精度高，克服了传统远场成像技术中分辨率较低的缺陷，该装置可获得微米级空间分辨率的太赫兹探测光谱与扫描图像。

主权项

一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜，其特征在于：包含飞秒脉冲激光器(14)、光纤耦合分束器(13)、第一光纤(10)、第二光纤(11)、太赫兹发射和接收模块(7)、延时线模块(12)、三维平移样品台(5)、可调电压源(4)、电流放大器(3)、锁相放大器(2)和控制电脑(1)；所述飞秒脉冲激光器(14)发出的激光经过所述光纤耦合分束器(13)分为两束激光在光纤中传播，其中一束激光通过所述第一光纤(10)传播至所述太赫兹发射和接收模块(7)，作为所述太赫兹发射和接收模块(7)的泵浦激光；另一束激光通过所述第二光纤(11)传播至所述太赫兹发射和接收模块(7)，作为所述太赫兹发射和接收模块(7)的探测激光；所述可调电压源(4)用于对光电导发射天线提供调制的偏置电压，并提供调制的参考信号给所述锁相放大器(2)；所述电流放大器(3)用于将太赫兹接收天线输入的光电流初步放大后，输出给锁相放大器(2)进行采集，锁相放大器(2)将采集得到的信号传输至控制电脑(1)；所述延时线模块(12)在泵浦激光光路或者探测激光光路中，用于调节泵浦激光和探测激光的光程差；所述三维平移样品台(5)用于固定和移动样品(6)，控制电脑(1)对三维平移样品台(5)进行实时调节。