[发明专利]基于空心阴极离子源的奥氏体不锈钢氮化处理系统及方法有效
| 申请号： | 201711051778.5 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107620031B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 何永勇;李杨;朱宜杰;王伟;赵军;胡宝国 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C8/38 | 分类号： | C23C8/38;C23C8/26 |
| 代理公司： | 11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于空心阴极离子源的奥氏体不锈钢氮化处理系统及方法，属于奥氏体不锈钢氮化处理技术领域。该系统包括电源系统、真空渗氮炉、放置在炉内的空心阴极装置、抽气系统、供气系统、测控系统，及连接管道和阀门；所述真空渗氮炉中空心阴极装置结构为多块平行排列在炉内的金属板,每块金属板带有多个间隔排列的长条凹槽且每个凹槽中均开有间隔排列的通孔。本方法为将多个零件清洗后放入真空渗氮炉内安装空心阴极装置的两金属板之间后进行氮化处理后，升温到500℃‑550℃温度，保温时间为0.5h‑1.5h，再冷却，拿出零件。本发明提高了气体离化率，增大了等离子体浓度，可改善奥氏体不锈钢表面硬度和耐磨性，不影响其耐蚀性能，提高氮化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 空心 阴极 离子源 奥氏体 不锈钢 氮化 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于空心阴极离子源的奥氏体不锈钢氮化处理系统，该系统包括电源系统、放置在炉内的空心阴极装置、抽气系统、供气系统及测控系统，以及与各部分之间的连接管道和阀门；其中，电源系统与真空渗氮炉相连，供气系统通过阀门与测控系统相连接，再连入真空渗氮炉及空心阴极装置；真空渗氮炉体下方通过阀门与抽气系统相连；其特征在于，所述真空渗氮炉中的空心阴极装置结构为多块平行排列在炉内的金属板,每块金属板带有多个间隔排列的长条凹槽且每个凹槽中均开有间隔排列的通孔，待氮化处理的多个工件分别放置在相邻两金属板之间；/n所述金属板的厚度为15-20mm，金属板的凹槽宽度为7-10mm，深度在5-7mm，凹槽间隔与宽度一致，通孔开在凹槽底部，直径比凹槽宽度小1mm或相同，通孔间隔与直径一致。/n
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