[发明专利]架空式起重输送系统

摘要

架空式起重输送系统。一种OHT系统包括设置在半导体生产线顶部上的一对直线轨道，设置在顶部上的一对分支轨道，从直线轨道分支出分支轨道，载运工具被配置成保持晶片盒并沿着直线轨道或分支轨道移动，载运工具包括与直线轨道或分支轨道接触的旋转驱动轮，以及用于使载运工具转向的转向构件和一对转向轨道，转向轨道被配置成沿直线轨道或分支轨道延伸并且位在从直线轨道分支出分支轨道的分支区域处，转向轨道被配置成使用针对转向构件而产生的磁力来控制载运工具的行驶路径。因此，可以减少当载运工具行驶时的颗粒数量。

主权项

1.一种架空式起重输送系统，包括：/n设置在半导体生产线的顶部上的一对直线轨道；/n设置在所述顶部上的一对分支轨道，从所述直线轨道分支出所述分支轨道；/n载运工具，所述载运工具被配置成保持晶片盒并且沿着所述直线轨道或所述分支轨道移动，所述载运工具包括与所述直线轨道或所述分支轨道接触的旋转驱动轮；以及用于使所述载运工具转向的转向构件；和/n一对转向轨道，所述转向轨道被配置成沿着所述直线轨道或所述分支轨道延伸，并且位于从所述直线轨道分支出所述分支轨道的分支区域中，所述转向轨道被配置成使用针对所述转向构件而产生的磁力来控制所述载运工具的行驶路径，/n其中所述转向轨道包括：/n沿着所述顶部上的所述直线轨道设置的直线转向轨道，用于让所述载运工具沿着所述直线轨道移动，并且利用磁力来防止所述载运工具从顶部上设置有直线轨道中非连续的一个的所述分支区域中掉落；和/n分支转向轨道，沿着所述顶部上的所述分支轨道设置，用于让所述载运工具沿着所述分支轨道移动，并且利用磁力来防止所述载运工具从顶部上设置有分支轨道中非连续的一个的所述分支区域中掉落，/n其中所述转向 构件被固定到驱动轴的中心部，以驱使驱动轮。/n