[发明专利]一种平面耿氏毫米波、太赫兹功率放大器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711046073.4 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107819071B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 宋爱民;王汉斌;张翼飞;王卿璞 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01L47/02 | 分类号： | H01L47/02;H01L47/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种平面耿氏毫米波、太赫兹功率放大器及其制备方法，由下至上依次包括衬底、沟道层及共平面波导电极，沟道层的载流子浓度为1×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 平面 毫米波 赫兹 功率放大器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种平面耿氏毫米波、太赫兹功率放大器，其特征在于，由下至上依次包括衬底、沟道层及共平面波导电极，所述沟道层的载流子浓度为1×1014～1×1017cm‑3，所述沟道层的长度为1～10μm，所述沟道层的载流子浓度与沟道层的长度的乘积N的取值范围为1×1011cm‑2＜N＜1×1014cm‑2。
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