[发明专利]微机电系统装置测试系统和方法有效
| 申请号： | 201711011146.6 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN108007475B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·卡尔;西尔维娅·卡尔 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;G01P21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 纪雯 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种系统，其包括：适用于绕固定点经受振荡运动的旋转平台；耦合到所述旋转平台的测试夹具，所述测试夹具适用于收容受测装置；和安装到所述旋转平台以用于提供指示所述振荡运动的运动输出信号的惯性传感器。控制器与所述旋转平台和惯性传感器通信。所述控制器接收所述运动输出信号且响应于所述运动输出信号将驱动信号提供到所述旋转平台。所述控制器产生所述驱动信号作为测试配置文件的响应，且所述运动输出信号提供所述旋转平台的实际移动的反馈。所述运动输出信号被输入到所述控制器以确保所述驱动信号与所述测试配置文件之间的对应性。可经由来自所述装置的感测信号评价多种不同的经验证的环境振动刺激影响。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测试系统，其特征在于，包括：旋转平台，其适用于绕固定点经受振荡运动；惯性传感器，其安装到所述旋转平台以用于提供指示所述振荡运动的运动输出信号；以及控制器，其与所述旋转平台和所述惯性传感器通信，所述控制器被配置成接收所述运动输出信号且响应于所述运动输出信号将驱动信号提供到所述旋转平台。
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