[发明专利]一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法及装置有效

专利信息
申请号: 201711008421.9 申请日: 2017-10-25
公开(公告)号: CN107640911B 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 魏凡 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: C03C23/00 分类号: C03C23/00;C03C17/00;G02F1/13
代理公司: 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 代理人: 潘中毅;熊贤卿
地址: 430000 湖北省武汉市武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明实施例公开了一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法,包括步骤:将经过清洗装置清洗后的玻璃基板,通过第一滚轮装置移入一烘干室;通过所述烘干室中设置的红外加热板,对所述玻璃基板进行烘干处理;将所述烘干后的玻璃基板,通过第二滚轮装置移入一冷却室;通过所述冷却室中设置的冷却板,对所述烘干后的玻璃基板进行冷却处理;将冷却后的玻璃基板传送至气浮式涂布机的涂布前平台上,以对所述玻璃基板进行涂布处理。本发明还提供了相应的装置。实施本发明实施例,可以减少玻璃基板进行涂布前的异物微粒物的数量,且烘干效果好。
搜索关键词: 一种 玻璃 进行 烘干 冷却 方法 装置
【主权项】:
1.一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法,其特征在于,所述方法包括步骤:将经过清洗装置清洗后的玻璃基板,通过第一滚轮装置移入一烘干室;通过设置于所述烘干室顶部或/及底部的多块红外加热板,对所述玻璃基板进行烘干处理;将所述烘干处理后的玻璃基板,通过第二滚轮装置移入一冷却室;通过设置于所述冷却室顶部或/及底部的多块冷却板,对所述烘干后的玻璃基板进行冷却处理;将冷却后的玻璃基板传送至气浮式涂布机的涂布前平台上,以对所述玻璃基板进行涂布处理。
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