[发明专利]超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统及方法在审
| 申请号： | 201711006578.8 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107699899A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 游志明;何源;熊平然;郭浩;李璐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | C23F3/06 | 分类号： | C23F3/06;C23F1/08 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司62102 | 代理人： | 张真 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子加速器超导腔加工技术领域，尤其是涉及一种超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统及方法。其特点是包括混酸槽，混酸槽上端通过管路与制冷机组相连，混酸槽内设置有热交换器，混酸槽下端通过管路与酸液输送泵相连，酸液输送泵通过管路与过滤器相连，过滤器通过管路与超导腔下端和超纯水水泵相连，超纯水水泵通过管路与超纯水水箱相连，超导腔上端通过管路分别与混酸槽上端和观察窗相连，高纯氮气罐通过管路与混酸槽与超导腔之间的管路相连；其通过采用计算机对酸液的流量、流速、温度、压力和时间进行严格控制，可以实现多型号超导腔的化学缓冲抛光。而且具有很强的抗腐蚀性、高度的安全性、可靠性、可控性和易操作性。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 腔整腔 表面 化学 缓冲 全自动 抛光 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统，其特征是包括混酸槽，混酸槽上端通过管路与制冷机组相连，混酸槽内设置有热交换器，混酸槽下端通过管路与酸液输送泵相连，酸液输送泵通过管路与过滤器相连，过滤器通过管路与超导腔下端和超纯水水泵相连，超纯水水泵通过管路与超纯水水箱相连，超导腔上端通过管路分别与混酸槽上端和观察窗相连，高纯氮气罐通过管路与混酸槽与超导腔之间的管路相连。
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