[发明专利]一种真空位移调节装置在审
| 申请号： | 201710986895.4 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107818814A | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 郜武;魏文 | 申请（专利权）人： | 北京雪迪龙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;F16J15/16 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙)11446 | 代理人： | 刘国伟,鲍晓芳 |
| 地址： | 102206 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空位移调节装置，用于调节真空腔内零件的位置，包括调整杆、母盘、转杆、子盘和第一动密封；第一动密封固定在真空腔的侧壁上；调整杆可旋转的穿过第一动密封，其顶端设有主动齿轮；母盘可旋转的安装在调整杆上；子盘由转杆支撑，转杆的一端连接母盘，另一端连接子盘；子盘上设有从动齿轮，从动齿轮与主动齿轮捏合。本发明的真空位移调节装置，母盘和子盘可单独转动，使得控制点可以到达预定区域的任何位置，满足不同工况的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 位移 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种真空位移调节装置，用于调节真空腔内零件的位置，其特征在于，包括调整杆、母盘、转杆、子盘和第一动密封；所述第一动密封固定在所述真空腔的侧壁上；所述调整杆可旋转的穿过所述第一动密封，其顶端设有主动齿轮；所述母盘可旋转的安装在所述调整杆上；所述子盘由所述转杆支撑，所述转杆的一端连接所述母盘，另一端连接所述子盘；所述子盘上设有从动齿轮，所述从动齿轮与所述主动齿轮捏合。
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