[发明专利]一种金刚石薄膜深海温度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201710957111.5 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN107702821A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 盖志刚;郭风祥;张涛;张妹;邱慧敏;胡鼎;李恒;李正军 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 主分类号： | G01K13/02 | 分类号： | G01K13/02 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)37247 | 代理人： | 刘娜,李新欣 |
| 地址： | 266071 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器，包括一端密封的筒状金属耐压外壳，所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底，所述金刚石基底一侧设有温度响应元件，所述温度响应元件为双螺旋线状结构，所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线，所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层，所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触；所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料，同时公开了该温度传感器的制备方法，本发明所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 薄膜 深海 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石薄膜深海温度传感器，其特征在于，包括一端密封的筒状金属耐压外壳，所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底，所述金刚石基底一侧设有温度响应元件，所述温度响应元件为双螺旋线状结构，所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线，所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层，所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触；所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东省科学院海洋仪器仪表研究所，未经山东省科学院海洋仪器仪表研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710957111.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智能家居用体温测量设备
- 下一篇：一种受力传感器阵列
