[发明专利]一种低电导率微传感器及使用方法

摘要

本发明公开了一种低电导率微传感器及其使用方法，包括基板、圆形电流电极、环形电压电极、环形接地电极及电极焊盘；所有电极同心设置于基板的同一表面，从内到外依次为电流电极、电压电极及接地电极；电极焊盘位于基板的电极对立面，通过引线连接各电极，电压电极包括六个等宽且等距分布的同心圆环，从内到外依次为第一至第六电极，其中第一、三、五电极构成第一电压电极，其余构成第二电压电极。使用时，环形接地电极用于屏蔽外界电磁干扰，在圆形电流电极上施加激励电流信号，同时测量两电压电极之间的电压，通过计算即可得出液体的电导率。圆状环形电极能够避免水流方向对测量结果的影响，且电极与被测液体的接触面积较大，能够提高测量精度。

主权项

一种低电导率微传感器，其特征在于：包括基板(1)、圆形电流电极(201)、环形电压电极、环形接地电极(208)及电极焊盘；所述电流电极(201)、电压电极及接地电极(208)同心设置于基板(1)的同一表面，从内到外依次为电流电极(201)、电压电极及接地电极(208)；所述电极焊盘设置于基板(1)的电极对立面；所述基板(1)还设有垂直于电极连接面的若干通孔；所述通孔轴线共面，通孔内填充引线；所述引线连接各电极与各电极焊盘；所述电压电极包括第一电压电极与第二电压电极。