[发明专利]真空可视狭缝机构在审
申请号: | 201710909264.2 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN107643577A | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 胡荣朝;曹超 | 申请(专利权)人: | 上海润理真空技术有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B26/02 |
代理公司: | 上海海贝律师事务所31301 | 代理人: | 范海燕 |
地址: | 201900 上海市宝山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了真空可视狭缝机构,包括壳体与动力机构,壳体的外壁设有视窗与真空对接法兰,内部中空形成有机械腔,机械腔内设置有左右旋螺纹驱动轴、左狭缝片、右狭缝片与导向轴,其中左狭缝片、右狭缝片的上孔穿过左右旋螺纹驱动轴,下孔穿过导向轴,此时旋转动力机构动力引入法兰将动力引入真空中实现左狭缝片、右狭缝片的运动;本发明在不破坏真空的情况下将动力引入到狭缝机构中,使狭缝开启或关闭,并通过固定的减速比计算出动力轴角速度与狭缝片线速度的关系,便于工作人员使用及对比参照。 | ||
搜索关键词: | 真空 可视 狭缝 机构 | ||
【主权项】:
真空可视狭缝机构,其特征在于:包括壳体与动力机构,所述壳体的外壁设有视窗与真空对接法兰,所述壳体内部中空形成有机械腔,所述机械腔内设置有左右旋螺纹驱动轴、左狭缝片、右狭缝片与导向轴,所述左右旋螺纹驱动轴依次螺纹穿过左狭缝片与右狭缝片上的螺孔,该左右旋螺纹驱动轴通过两个第一轴支座进行固定,所述导向轴依次穿过左狭缝片与右狭缝片上的导向孔,该导向轴通过两个第二轴支座进行固定,所述左右旋螺纹驱动轴与导向轴相平行,所述动力机构通过动力引入法兰连接有螺纹杆,所述螺纹杆延伸至机械腔内且通过联轴器与左右旋螺纹驱动轴相连接,所述动力机构位于壳体外部。
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