[发明专利]一种叉指电容结构的曲率传感器有效
| 申请号： | 201710897844.4 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107907045B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 韩磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 周蔚然 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于叉指电容结构的曲率传感器，包括柔性基板、金属条以及叉指型结构，所述柔性基板上放置叉指型结构，金属条的数量为两个，两个金属条平行放置在柔性基板上表面两侧，金属条之间放置相互平行、悬空的叉指型结构，当柔性基板贴合在一个曲率的表面上时，弯曲的柔性基板会导致叉指型结构之间的交叠部分发生改变，使得叉指型结构构成的叉指电容发生变化，通过检测叉指电容的变化量实现曲率的测量，本发明突破了传统检测原理的思维限制，寻找到了基于MEMS技术的实现方法，灵敏度和体积都有提升。同时还具有结构简单、设计灵活、易于测量、工艺兼容、成本低等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 结构 曲率 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种叉指电容结构的曲率传感器，其特征在于：包括柔性基板（1）、金属条（2）（3）、叉指型结构（4）（5），所述金属条（2）（3）的数量为两个，两个金属条（2）（3）平行放置在柔性基板（1）上表面两侧，金属条（2）（3）之间放置相互平行、悬空的叉指型结构（4）（5），每个叉指型结构只与一个金属条连接；传感器的使用方法是：当柔性基板（1）贴合在一个曲率的表面上时，弯曲的柔性基板（1）会导致叉指型结构（4）（5）之间的交叠部分发生改变，使得叉指型结构构成的叉指电容发生变化，通过检测叉指电容的变化量实现曲率的测量。
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