[发明专利]用于OLED应用的PECVD HMDSO膜的等离子体固化有效
| 申请号： | 201710897728.2 | 申请日： | 2014-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN107482137B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | J·J·陈;崔寿永 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/52;C23C16/40;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于OLED应用的PECVD HMDSO膜的等离子体固化。本发明描述了一种用于形成OLED器件的方法。具有夹在阻挡层之间的缓冲层的封装层沉积在OLED结构上。所述缓冲层沉积在第一阻挡层上，并在低于100摄氏度的温度下利用含氟等离子体进行固化。接着，所述第二阻挡层沉积在所述缓冲层上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 oled 应用 pecvdhmdso 等离子体 固化 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成有机发光二极管(OLED)器件的方法，所述方法包括：将第一阻挡层沉积在基板的区域上，所述区域上设置有OLED结构；将缓冲层沉积在所述第一阻挡层上；利用含氟等离子体将所述缓冲层固化；以及将第二阻挡层沉积在所述固化的缓冲层上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
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