[发明专利]一种用于半导体封装设备的吹气除尘装置在审
申请号: | 201710889180.7 | 申请日: | 2017-09-27 |
公开(公告)号: | CN108080347A | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 陈功 | 申请(专利权)人: | 苏州诺百斯自动化科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02 |
代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 刘君 |
地址: | 215164 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种用于半导体封装设备的吹气除尘装置,包括:动力设备,通气管道,橡胶管道,吹气喷头,固定支架,该吹气除尘装置设置在作用产线一侧,即进料导轨端部至点胶模块之前的生产流水产线的一侧,其中,在动力设备中过滤后的纯净空气通过气体管道将其传送到装片生产车间,在气体管道上与软管通道的接触前端设置有阀门,通过阀门来实现气体的开关。吹气喷头的尾端插入橡胶管道中,沿作用产线固定安装有多个固定支架,将与橡胶管道连接后的吹气喷头固定在固定支架上的可转动装置上,吹气喷头向下倾斜40~60°。上述吹气除尘装置可有效吹除导轨及框架本身粘有的灰尘颗粒,防止后续上片时产生倾斜及裂纹等质量问题。 | ||
搜索关键词: | 吹气除尘装置 吹气喷头 固定支架 橡胶管道 产线 半导体封装设备 动力设备 气体管道 阀门 可转动装置 纯净空气 点胶模块 灰尘颗粒 进料导轨 前端设置 软管通道 生产车间 通气管道 向下倾斜 质量问题 吹除 导轨 尾端 装片 过滤 流水 生产 | ||
【主权项】:
1.一种用于半导体封装设备的吹气除尘装置,包括:动力设备,通气管道,橡胶管道,吹气喷头,固定支架,该吹气除尘装置设置在作用产线一侧,在气体管道与软管通道的接触前端设置阀门,通过阀门来实现气体的开关,吹气喷头的尾端插入橡胶管道中,沿作用产线固定安装有多个固定支架,其特征在于:连接橡胶管道后的吹气喷头安装在固定支架上的可转动装置上,吹气喷头向下倾斜40~60°。
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