[发明专利]一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器有效
| 申请号： | 201710881284.3 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107677704B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张洪泉;沈冰;张凯;姜宗泽;刘秀杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学;上海航士海洋科技有限公司;哈尔滨航士科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 23209 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张月 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 一种纳米管材料的气体传感器的制备方法及气体传感器，属于传感器技术领域。气体传感器的敏感元件和补偿元件均包括Al | ||
| 搜索关键词： | 纳米管阵列 气体传感器 敏感电极 贵金属修饰 传感器技术领域 孔洞 贵金属催化剂 易燃易爆气体 传感器芯体 传感器载体 纳米管材料 微加工技术 补偿元件 沉积铂膜 电极焊盘 高温条件 金属引线 敏感芯体 敏感元件 浓度检测 陶瓷材料 芯体表面 原位生长 微结构 传感器 光刻 刻蚀 修饰 制备 焊接 | ||
【主权项】：
1.一种纳米管材料的气体传感器的制备方法，其特征在于：具体步骤为：/n步骤一、利用原位生长的Al
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