[发明专利]气体输送装置

摘要

本案提供一种气体输送装置，由至少一导流单元所构成，至少一导流单元包含入口板、基材、共振板、致动膜、压电元件及出口板依序堆叠设置，共振板与致动膜间定义第一腔室，致动膜与出口板间定义第二腔室，当压电元件驱动致动膜时，气体由入口板的进入孔进入基材的汇流腔室，并流经共振板的中空孔洞，以进入第一腔室内，并由致动膜的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此以控制气体的流通。

主权项

1.一种气体输送装置，其特征在于，包含:多个导流单元，该导流单元，分别包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一汇流腔室；一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及一出口板，具有一出口孔；以及至少一阀，设置在该入口孔和该出口孔的至少其中之一；其中，该入口板、该基材、该压电板、该致动板及该出口板依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动板及该出口板之间形成一第二腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第一腔室及该第二腔室形成一压力差，并使该至少一阀开启，让气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室而流经该压电板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借由一特定排列方式设置该多个导流单元以传输气体。