[发明专利]用于自动调整配给器的配给单元的方法和设备

摘要

一种配给设备包括框架以及第一和第二配给单元，所述框架具有构台，所述构台被配置以提供在X轴和Y轴方向上的移动，所述第一和第二配给单元被连接到所述构台并且被配置以配给材料到衬底上。所述第二配给单元通过自动调整机构连接到所述构台。所述配给设备进一步包括控制器，所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器和所述自动调整机构的操作。所述自动调整机构被配置以在X轴和Y轴方向上移动所述第二配给器，以操控所述第一配给单元和所述第二配给之间的间距。进一步公开在所述衬底上配给材料的方法。

主权项

1.一种将黏性材料配给在电子衬底上的方法，所述方法包括：将第一电子衬底图案递送到配给位置；将第二电子衬底图案递送到配给位置；用构台将第一配给器和第二配给器移动到所述第一电子衬底图案和所述第二电子衬底图案上方，所述构台被配置成在X轴方向和Y轴方向上移动所述第一配给器和所述第二配给器，所述构台包括第一侧轨、第二侧轨和梁，所述梁在所述第一侧轨和所述第二侧轨之间延伸，所述梁被配置成在所述Y轴方向上沿着所述第一侧轨和所述第二侧轨移动以获得Y轴移动，所述构台还包括安装在所述梁上的运输装置，所述运输装置被配置为在所述X轴方向上沿着所述梁的长度移动；用所述运输装置和自动调整机构将所述第一电子衬底图案与所述第一配给器对齐并且将所述第二电子衬底图案与所述第二配给器对齐，所述自动调整机构被配置为在所述X轴方向和所述Y轴方向中的至少一个方向上将所述第二配给器移动为距所述第一配给器预先确定的距离；用成像系统捕捉所述第一图案和所述第二图案的至少一个图像，其中，所述第二图案与所述第一图案相同；通过所述自动调整机构相对于所述第一配给器自动调节所述第二配给器，并且基于所捕获的所述第一图案和所述第二图案的所述至少一个图像而确定所述第一图案和所述第二图案是否正确定位，以在所述第一图案和所述第二图案上执行同时的配给操作；在所述第一电子衬底图案上期望的位置处从所述第一配给器配给材料；以及在所述第二电子衬底图案上期望的位置处从所述第二配给器配给材料，其中所述自动调整机构包括线性轴承、安装部块和第一线性驱动电动机组件，所述线性轴承被固定到所述运输装置，所述安装部块被连接到所述第二配给器并且被配置为沿所述线性轴承跨设，所述第一线性驱动电动机组件被配置为沿所述线性轴承移动所述安装部块。