[发明专利]一种利用快速热处理制备钇钡铜氧高温超导薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种利用快速热处理制备钇钡铜氧高温超导薄膜的方法，包括以下步骤：前驱液：基于无氟工艺，配制出性能稳定的YBCO溶胶；凝胶膜制备：采用浸渍提拉法或旋转涂覆法在铝酸镧单晶基板上制备YBCO薄膜；低温热分解：采用滑轨式管式炉，在管式炉的加热端将其加热至400‑500℃的稳定状态，并通入特定的保护气氛。对样品进行150～200℃/秒的极其快速的升温，即处于室温的样品在气氛保护下通过滑轨移动的方式迅速移至管式炉的400‑500℃温区，并保温30min；高温晶化：采用滑轨式管式炉，在管式炉的加热端将其加热至780‑830℃的稳定状态。对样品进行150～200℃/秒的极其快速的升温，即处于室温的样品在气氛保护下通过滑轨移动的方式迅速移至管式炉的780‑830℃温区，并保温30min。本发明显著缩短反应时间，工艺流程简单，制备能耗低，成本低，适用于工业化生产。

主权项

一种利用快速热处理制备钇钡铜氧高温超导薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)、前驱液：配制出性能稳定的YBCO溶胶；2)、凝胶膜制备：以YBCO溶胶为前驱物，采用浸渍提拉法或旋转涂覆法在铝酸镧单晶基板上制备YBCO薄膜；3)、低温热分解：在混合气氛保护下，将样品从室温直接放置于预设温度为400～500℃温度范围的管式炉内，保温30min；4)、高温晶化：在混合气氛保护下，将热分解后的样品直接放置于预设温度为780～830℃温度范围的管式炉内，保温30min，晶化所得YBCO薄膜为四方相，在干燥氧气中进行低温渗氧处理，即得正交相的YBCO超导薄膜。