[发明专利]纳晶镍的热电性能调控方法有效
| 申请号： | 201710777165.3 | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN107579149B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 刘英光 | 申请（专利权）人： | 华北电力大学（保定） |
| 主分类号： | H01L35/20 | 分类号： | H01L35/20;H01L35/34 |
| 代理公司： | 深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙) 44632 | 代理人： | 霍如肖 |
| 地址： | 071003 河北省保定市*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种纳晶镍的热电性能调控方法，包括：A.在铜箔上沉积一层厚度为5~15 nm的氧化锆薄膜，敲击氧化锆薄膜层，使氧化锆薄膜呈玻璃态；B.在氧化锆薄膜上沉积厚度为5~55 nm的纳晶镍层；C.蚀刻铜箔，使得铜箔层的厚度减薄到1000~3000 nm，获得包括铜箔层、纳晶镍层与氧化锆薄膜层的复合层结构；D.重复步骤A、B和C，获得多张复合层结构；沿同一方向，叠合各张复合层结构，获得包括多层纳晶镍层的膜结构；其中，通过控制铜箔层的减薄厚度，来控制各张复合层结构的热电性能。该制备方法，工艺简单，铜的导电率高，能够获得高的电导率，铜的熔点温度较低，便于多张复合层结构的压合，通过控制铜箔层的减薄厚度，能够实现薄膜型纳晶镍的热电性能的调控。 | ||
| 搜索关键词： | 纳晶镍 热电 性能 调控 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳晶镍的热电性能调控方法，其特征在于，包括：步骤A.在铜箔上沉积一层厚度为5～15nm的氧化锆薄膜，采用表面为纳米结构的敲击锤敲击所述氧化锆薄膜层，使所述氧化锆薄膜呈玻璃态；步骤B.在所述氧化锆薄膜上沉积厚度为5～55nm的纳晶镍层；步骤C.蚀刻所述铜箔，使得铜箔层的厚度减薄到1000～3000nm，获得包括铜箔层、纳晶镍层与氧化锆薄膜层的复合层结构；步骤D.重复步骤A、B和C，获得多张复合层结构；沿同一方向，叠合各张所述复合层结构，获得包括多层纳晶镍层的膜结构；其中，通过控制铜箔层的减薄厚度，来控制各张复合层结构的热电性能。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华北电力大学（保定），未经华北电力大学（保定）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710777165.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：LED封装胶成型结构及其方法
- 下一篇：一种平面热电元件的制作方法
