[发明专利]磁轴承装置及真空泵有效
| 申请号： | 201710757698.5 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN108457984B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16C32/04 | 分类号： | F16C32/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁轴承装置及真空泵，可减低轴向位移传感器的传感器特性的机台偏差。磁轴承装置包括：径向磁轴承(4A、4B)，在径方向上磁悬浮支撑转子轴(5)；轴向磁轴承(4C)，在轴方向上磁悬浮支撑与转子轴(5)一体旋转的转子盘(10)；及轴向位移传感器(6z1、6z2)，配置于轴向磁轴承(4C)的芯(41、44)的与转子盘(10)相对向的面，对转子盘(10)的轴方向的位移进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 磁轴 装置 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种磁轴承装置，其特征在于包括：径向磁轴承，在径方向上磁悬浮支撑转子轴；轴向磁轴承，在轴方向上磁悬浮支撑与所述转子轴一体旋转的转子盘；及轴向位移传感器，配置于所述轴向磁轴承的电磁铁芯的与所述转子盘相对向的面，对所述转子盘的轴方向的位移进行检测。
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