[发明专利]磁轴承装置及真空泵

权利要求书

1.一种磁轴承装置，其特征在于包括：

径向磁轴承，在径方向上磁悬浮支撑转子轴；

轴向磁轴承，具有电磁铁线圈，在轴方向上磁悬浮支撑与所述转子轴一体旋转的转子盘；及

轴向位移传感器，配置于所述轴向磁轴承的电磁铁芯的与所述转子盘相对向的面，对所述转子盘的轴方向的位移进行检测，且

所述电磁铁芯具有：配置有所述电磁铁线圈的线圈配置部；及配置有所述轴向位移传感器的传感器配置部，且所述传感器配置部为环状的凹部，以将所述轴向位移传感器相对于所述转子盘的位置关系设为与所述电磁铁芯相对于所述转子盘的位置关系相同。

2.根据权利要求1所述的磁轴承装置，其特征在于：

所述电磁铁为对向配置于所述转子盘的表面侧的第1轴向电磁铁及对向配置于所述转子盘的背面侧的第2轴向电磁铁，

所述轴向位移传感器具有第1传感器及第2传感器，所述第1传感器配置于所述第1轴向电磁铁的电磁铁芯的与所述转子盘相对向的面，所述第2传感器配置于所述第2轴向电磁铁的电磁铁芯的与所述转子盘相对向的面，

所述轴向磁轴承的激磁电流是基于来自第1传感器的信号与来自第2传感器的信号的差动信号而控制。

3.根据权利要求1或2所述的磁轴承装置，其特征在于：

所述轴向位移传感器具备施加有高频电压的线圈及配置于所述线圈的转子盘侧之外的周围的铁氧体芯构件。

4.根据权利要求3所述的磁轴承装置，其特征在于：

在所述转子盘中，在与所述轴向位移传感器相对向的区域设置有铁氧体芯构件。

5.根据权利要求3所述的磁轴承装置，其特征在于：

在所述轴向位移传感器的磁路区域与所述轴向磁轴承的磁路区域之间的所述转子盘及所述电磁铁芯的彼此相对向的面的至少一个面形成有槽。

6.根据权利要求1或2所述的磁轴承装置，其特征在于：

所述轴向位移传感器包括施加有高频电压的线圈，

在所述轴向位移传感器的磁路区域与所述轴向磁轴承的磁路区域之间的所述转子盘及所述电磁铁芯的彼此相对向的面的至少一个面形成有槽。

7.根据权利要求1或2所述的磁轴承装置，其特征在于：

所述转子盘固定于所述转子轴的端部，且

所述磁轴承装置具备定位构件，所述定位构件插入于所述转子盘与所述转子轴的端部之间，对所述转子盘的轴向方向位置进行定位。

8.一种真空泵，其特征在于包括：

根据权利要求1至7中任一项所述的磁轴承装置，磁悬浮支撑泵转子的转子轴；及

马达，旋转驱动所述泵转子。