[发明专利]一种镜组的装调方法

摘要

本发明公开了一种镜组的装调方法。该方法步骤如下：根据镜组参数设定镜筒的尺寸，与每个镜片对应的镜筒壁沿周向均匀设置四个调整螺丝；装调时，首先利用杠杆表调整镜筒与中心偏测量仪的位置，调整工作台与中心激光光束光轴的水平位置与俯仰位置；其次，通过调整螺丝对第一个镜片的光轴进行调整，采用隔圈固定后置入下一个镜片继续进行光轴调整；并记录各镜片的实际装调误差；将各镜片参数代入仿真系统，得到该镜组的理想仿真波面；对装调之后的镜筒进行测量得到实际波面，将理想仿真波面与实测波面进行比较，重新仿真得到的理想仿真波面与实测波面误差小于阈值，从而得到镜组装调误差。本发明的误差标定精度高，也极大地提高了整个光学系统的测量精度。

主权项

一种镜组的装调方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，根据镜组参数设定镜筒(4)的尺寸，镜组中各镜片(1)顺次置于镜筒(4)之中，相邻镜片(1)之间设置隔圈(2)，隔圈(2)对相邻镜片(1)之间的距离进行限定，与每个镜片(1)对应的镜筒(4)壁沿周向均匀设置四个调整螺丝(3)；步骤2，装调时，首先利用杠杆表调整镜筒(4)与中心偏测量仪的位置，调整工作台与中心激光光束光轴的水平位置与俯仰位置；其次，通过调整螺丝(3)对第一个镜片(1)的光轴进行调整，采用隔圈(2)固定后置入第二个镜片(1)继续进行光轴调整，直至完成对所有镜片(1)的光轴调整；并记录各镜片(1)的实际装调误差；步骤3，对步骤1所述镜组进行数学建模得到仿真系统，将各镜片(1)参数代入仿真系统，即可得到该镜组的理想仿真波面；使用ZYGO干涉仪对步骤2装调之后的镜筒进行测量得到实际波面，将理想仿真波面与实测波面进行比较，通过改变仿真系统中各镜片(1)的倾斜、俯仰或离轴参数，使重新仿真得到的理想仿真波面与实测波面误差小于阈值，从而得到各镜片(1)的实际位置，即镜组装调误差。