[发明专利]一种基于冷原子的超高/极高真空压力传感器

摘要

本发明公开了一种基于冷原子的超高/极高真空压力传感器，包括原子发生器、原子预冷却腔、冷原子真空压力感应腔及隔离腔，原子发生器与原子预冷却腔连通，原子预冷却腔与冷原子真空压力感应腔连通并形成级联结构，冷原子真空压力感应腔通过隔离腔与待测超高/极高真空系统连通。本发明可有效解决目前在超高/极高真空测量中采用电离规所存在的问题和不足，自身可作为初级真空标准，且无需校准，填补当前国际上尚未有对应的超高/极高真空初级标准的空白。

主权项

一种基于冷原子的超高/极高真空压力传感器，其特征在于，该真空压力传感器用于测量超高/极高真空环境的压力，真空压力传感器包括原子发生器、原子预冷却腔、冷原子真空压力感应腔以及隔离腔；所述原子发生器用于原子的产生与分发；所述原子预冷却腔将产生的原子进行预冷却；所述冷原子真空压力感应腔用于将预冷却的冷原子进行深度的冷却与囚禁，并测量囚禁冷原子的碰撞损失率由此得出待测超高/极高真空环境的真空压力；所述隔离腔用于将待测超高/极高真空环境与冷原子真空压力感应腔隔离；原子发生器与原子预冷却腔连通，原子发生器设置在原子预冷却腔上方，原子预冷却腔与冷原子真空压力感应腔连通并形成级联结构，冷原子真空压力感应腔通过隔离腔与待测超高/极高真空环境连通，隔离腔设置在冷原子真空压力感应腔上方。