[发明专利]带原位测量功能的多孔金属电沉积装置及其电沉积工艺

摘要

本发明涉及表面处理测量装置及沉积工艺技术领域，具体涉及带原位测量功能的多孔金属电沉积装置及其电沉积工艺。所述装置包括：电沉积系统、参数原位测量系统、溶液循环系统和电源；所述溶液循环系统与所述电沉积系统连接，用于为电沉积系统提供循环电解液；所述参数原位测量系统用于测量电沉积系统中多孔金属电极材料内部的电沉积电镀过程参数；所述电源为所述电沉积系统提供电能。本发明电沉积过程中利用电沉积装置测量所得的参数为依据调整电沉积过程工艺，可以影响多孔钛多孔结构内外的反应过程，使得多孔金属样件全部表面的涂层生长更为均匀，提高不同尺寸的多孔金属的有效沉积厚度。

主权项

1.一种带原位测量功能的多孔金属电沉积装置，其特征在于，包括：电沉积系统、参数原位测量系统、溶液循环系统和电源；所述溶液循环系统与所述电沉积系统连接，用于为电沉积系统提供循环电解液；所述参数原位测量系统用于测量电沉积系统中多孔金属电极材料内部的电沉积电镀过程参数；所述电源为所述电沉积系统提供电能；所述电沉积系统包括：电沉积腔体，所述电沉积腔体内设置有作为阴极的多孔金属电极、作为阳极的辅助电极；所述多孔金属电极和辅助电极分别连接电源两端；所述电沉积腔体内间隔设置有多个原位测量通道；所述参数原位测量系统包括：多通道原位测量仪，多通道原位测量仪上具有多个测量探头，所述原位测量通道用于容置测量探头，所述测量探头测量时靠近所述多孔金属电极表面，不同测量探头与阳极间的距离不相等，以检测多孔金属电极表面不同位置的电沉积参数；所述溶液循环系统包括：电解液存储池，所述电解液储存池与电沉积腔体相连通，形成电解液循环回路；所述电解液储存池的电解液出口端连接所述电沉积腔体的入口端，所述电解液储存池的电解液入口端连接所述电沉积腔体的出口端；所述电解液储存池的电解液出口端与所述电沉积腔体的入口端之间设置有蠕动泵。