[发明专利]除雾装置、湿式处理设备及除雾方法有效
| 申请号： | 201710711153.0 | 申请日： | 2017-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN107433103B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 李启明 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/06;B01D53/26;B01D46/00 |
| 代理公司： | 44280 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 钟子敏<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种除雾装置、湿式处理设备及除雾方法，所述除雾装置包括通过至少一层吸附网，用于将腔体内部的雾气吸收，进而在吸附网表面形成液滴；以及空心管路，并且空心管路上设有吸附口，用于将吸附网表面的液滴吸除，所述空心管路连接抽气口；还包括两转动机构，使得吸附网能够持续进行除雾。本申请能够提供较小的抽气功率，提供更高的除雾效率，运营成本更低廉。因为排气流量小，对整体腔体压力影响小，制程更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附网 除雾装置 空心管路 除雾 液滴 表面形成 除雾效率 排气流量 腔体内部 湿式处理 压力影响 运营成本 转动机构 抽气口 空心管 吸附口 整体腔 雾气 抽气 吸除 制程 申请 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种湿式处理设备，其特征在于，设有腔体，所述腔体内部设有连接外部的抽气口，所述抽气口用于将所述腔体内部的雾气排出，所述腔体内部设有除雾装置，所述除雾装置包括：/n至少一层吸附网，用于将所述腔体内部的雾气吸收，进而在所述吸附网表面形成液滴；/n空心管路，设有朝向所述吸附网的吸附口，用于将所述吸附网表面的液滴吸除，所述空心管路连接所述抽气口；以及/n主动转动机构和从动转动机构，所述吸附网设置于所述主动转动机构和所述从动转动机构之间；所述吸附网在所述主动转动机构的驱动下做循环转动；/n其中，所述除雾装置还包括若干条形挡板，所述条形挡板倾斜安装在所述吸附网的表面或多层所述吸附网之间；所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致；相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离。/n
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