[发明专利]吸附方法在审
| 申请号： | 201710707033.3 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107499937A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 孙官恩;张莉;王琦;毛利良;马志锋 | 申请（专利权）人： | 中国南玻集团股份有限公司;深圳南玻应用技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 石佩 |
| 地址： | 518047 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种吸附方法。上述的吸附方法包括提供一玻璃基板；将玻璃基板放置于吸附平台上，其中，吸附平台上开设有N圈通孔，第1圈通孔邻近吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近吸附平台的中心；以及沿第1圈通孔至第N圈通孔的顺序进行抽真空。由于上述的吸附方法可以避免了玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象，使玻璃基板的表面的变形量较小，从而玻璃基板较好地定位于吸附平台上，可以保证玻璃基板的涂胶、曝光和烘烤等工序的正常进行。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 方法 | ||
【主权项】：
一种吸附方法，其特征在于，包括：提供一玻璃基板；将所述玻璃基板放置于吸附平台上，其中，所述吸附平台上开设有N圈通孔，第1圈通孔邻近所述吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近所述吸附平台的中心；以及沿所述第1圈通孔至所述第N圈通孔的顺序进行抽真空。
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