[发明专利]分子束外延系统在审
| 申请号： | 201710704674.3 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109402732A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 高鸿钧;吴泽宾;高兆艳;陈喜亚;郇庆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C30B23/06 | 分类号： | C30B23/06 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种分子束外延系统，包括：分子束外延腔；样品准备腔，其通过第一门阀与所述分子束外延腔相连接；快速进样腔，其通过第二门阀与所述样品准备腔相连接；传输装置，其用于当所述第二门阀打开时，将样品片从所述快速进样腔的腔体内传输至所述样品准备腔的腔体内，以及当所述第一门阀打开时，将样品片从所述样品准备腔的腔体内传输至所述分子束外延腔的腔体内。本发明的分子束外延系统在对样品片进行外延过程中避免了对样品片造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 样品准备 门阀 分子束外延系统 分子束外延 体内传输 进样腔 体内 传输装置 外延过程 污染 | ||
【主权项】：
1.一种分子束外延系统，其特征在于，包括：分子束外延腔；样品准备腔，其通过第一门阀与所述分子束外延腔相连接；快速进样腔，其通过第二门阀与所述样品准备腔相连接；传输装置，其用于当所述第二门阀打开时，将样品片从所述快速进样腔的腔体内传输至所述样品准备腔的腔体内，以及当所述第一门阀打开时，将样品片从所述样品准备腔的腔体内传输至所述分子束外延腔的腔体内。
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