[发明专利]光学加工平行金刚石砂轮复合截面轮廓的修整方法有效
| 申请号： | 201710702270.0 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN107297691B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 周炼;赵世杰;袁志刚;谢瑞清;陈贤华;刘民才;张清华;王健 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B53/12 |
| 代理公司： | 51226 成都希盛知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒲敏<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学加工平行金刚石砂轮中央平直线和两侧边缘圆弧过渡的复合截面轮廓的修整方法，该方法包括以下步骤：1)调整修整器上的修整砂轮的旋转轴与超精密平面磨床竖向Y轴之间的平行度；2)修整砂轮端面研磨修整金刚石砂轮的外圆面，使金刚石砂轮外圆面获得满足元件加工工艺要求的圆周跳动精度及轴向平行度；3)调整金刚石砂轮进给方向与超精密平面磨床X轴成下倾角度，修整砂轮的端面研磨金刚石砂轮的两侧棱边为平滑圆弧。本发明采用金刚石砂轮修形与修锐同时进行，可以准确获得中央直线段的宽度与两侧圆弧过渡的高度，有效避免磨削过程中砂轮棱边处造成的加工应力集中，降低元件的亚表面缺陷深度及不稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石砂轮 修整 砂轮 平面磨床 圆弧过渡 超精密 外圆面 棱边 亚表面缺陷 不稳定性 端面研磨 复合截面 工艺要求 光学加工 两侧边缘 平滑圆弧 砂轮端面 应力集中 元件加工 轴向平行 研磨 平行度 平直线 修整器 旋转轴 直线段 进给 磨削 竖向 下倾 修锐 修形 平行 跳动 加工 | ||
【主权项】：
1.光学加工平行金刚石砂轮复合截面轮廓的修整方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：/n1)将金刚石砂轮(3)安装于超精密平面磨床主轴上，将修整器(1)固定于超精密平面磨床工作台上，并调整修整器(1)上的修整砂轮(2)的旋转轴与超精密平面磨床竖向Y轴之间的平行度；/n2)修整砂轮(2)端面研磨修整金刚石砂轮(3)的外圆面，同时金刚石砂轮(3)沿机床X轴的方向作进给运动，去除金刚石砂轮(3)的表面磨损钝化层，使金刚石砂轮(3)外圆面获得满足元件加工工艺要求的圆周跳动精度及轴向平行度；/n3)调整金刚石砂轮(3)进给方向与超精密平面磨床X轴成下倾角度，继续修整加工，修整砂轮(2)的端面研磨金刚石砂轮(3)的两侧棱边为平滑圆弧，最终保证金刚石砂轮(3)的两侧过渡圆弧高度大于加工元件时的每刀磨削深度，且金刚石砂轮(3)的中央部分残留的平直段大于加工元件时的光栅式磨削间距。/n
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