[发明专利]一种利用电子探针快速表征轴承钢偏析的方法

摘要

本发明公开了一种利用电子探针快速表征钢材偏析的方法，采用电子探针分析仪进行测试，利用波谱仪点分析功能确定钢中偏析元素种类，通过波谱仪面扫描功能进行对整个试样表面进行扫描，将试样的偏析利用颜色区别直观表征出来，便于更清晰的观察钢材的偏析程度。本方法打破了电子探针只能进行微区分析的局限性，可以进行大区域偏析特别是可以进行铸坯偏析的表征。本发明方法受人为因素干扰少，并且可以快速进行钢材中大面积元素偏析程度的表征分析，有效解决了电子探针现有技术只能微区分析元素偏析的问题，对钢种开发及工艺改进具有重要的参考意义。

主权项

一种快速表征轴承钢偏析的方法，依次包括样品的打磨步骤、抛光步骤、腐蚀步骤、扫描区域标定步骤和表征分析步骤；其特征在于所述表征分析步骤具体包括以下几个步骤：1）将经过扫描区域标定处理后的样品连同电子探针分析仪所配备的标准样品一起固定在专业样品台上，将专业样品台放置到电子探针分析仪的测试样品托盘中，然后将专业样品台抽真空至真空度不大于10‑4 Pa；2）将专业样品台移至标准样品的位置，对电子束进行合轴，调节电子枪灯丝加热至电子束流饱和点；3）调节电子探针分析仪的位置，使专业样品台从标准样品的位置移动至待测样品位置；调节光学显微镜使光学图像清晰，调整电子束流使得二次电子图像清晰；选取灯丝电流和束斑尺寸，以确定分析元素为C和Cr；4）在步骤3）确定分析元素后，波谱仪开始进行搜峰；5）确定面扫描范围，保证扫描范围覆盖试样的边部和心部，即对标定的区域进行面扫描分析，并利用Trace Point 方法对检测范围进行扫描确认；6）扫描方式确定为Stage Scan，调整扫描Pitch以确保扫描时间为30~40min，波谱仪的电子束以垂直于轴承钢试样的观察面进行面扫描并记录数据；7）扫描结束后对数据进行处理，分析面扫描结果强度的变化，确定轴承钢的偏析情况。