[发明专利]全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统有效
申请号: | 201710678259.5 | 申请日: | 2017-08-09 |
公开(公告)号: | CN107505307B | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 段忆翔;施琳莉 | 申请(专利权)人: | 成都艾立本科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71 |
代理公司: | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 | 代理人: | 曾克;李晓英 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统,包括脉冲激光器、全反射镜、聚焦透镜、样品台、全包围式椭圆球面镜、信号光收集系统和光谱仪,样品台和信号光收集系统位于全包围式椭圆球面镜内侧,样品台和信号光收集系统分别设于全包围式椭圆球面镜的两个焦点处,全包围式椭圆球面镜上设有通孔,样品台位于通孔正下方,聚焦透镜位于通孔正上方,全反射镜用以将脉冲激光器产生的激光全反射给聚焦透镜,聚焦透镜聚焦后的光以垂直于全包围式椭圆球面镜长轴的方向入射到样品台上,光谱仪与信号光收集系统连接。本发明将等离子体各发散角度的信号光进行会聚收集,克服收集角度对信号的影响和单方向收集造成的信号损失,可极大程度上提高信号光收集效率。 | ||
搜索关键词: | 包围 椭圆 球面镜 激光 诱导 击穿 光谱仪 系统 | ||
【主权项】:
全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统,其特征在于:包括脉冲激光器(1)、全反射镜(2)、聚焦透镜(3)、样品台(4)、全包围式椭圆球面镜(5)、信号光收集系统(6)和光谱仪(7),所述样品台(4)和信号光收集系统(6)位于全包围式椭圆球面镜(5)内侧,所述样品台(4)和信号光收集系统(6)分别设于全包围式椭圆球面镜(5)的两个焦点处,所述全包围式椭圆球面镜(5)上设有通孔(9),所述样品台(4)位于通孔(9)正下方,所述聚焦透镜(3)位于通孔(9)正上方,所述全反射镜(2)用以将脉冲激光器(1)产生的激光全反射给聚焦透镜(3),所述聚焦透镜(3)用以将其聚焦后的光以垂直于全包围式椭圆球面镜(5)长轴的方向入射到样品台(4)上,所述光谱仪(7)与信号光收集系统(6)连接。
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