[发明专利]一种旋转夹持台在审
| 申请号： | 201710655117.7 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107507789A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 陈文;牛伟光;尚美杰 | 申请（专利权）人： | 宁波尚进自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙)33243 | 代理人： | 张向飞 |
| 地址： | 315100 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种旋转夹持台，其包括座体；主轴，铰接在座体上，所述主轴中部具有用于固定待封装激光器芯片的平面；电机，设置在座体外侧并与主轴直接连接，所述电机直接驱动主轴进行旋转动作。本旋转夹持台具有结构简单、动态响应快、定位精度高、可靠性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 夹持 | ||
【主权项】：
一种旋转夹持台，其特征在于：包括：座体；主轴，铰接在座体上，所述主轴中部具有用于固定待封装激光器芯片的平面；电机，设置在座体外侧并与主轴直接连接，所述电机直接驱动主轴进行旋转动作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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