[发明专利]一种超精密气浮定位平台

摘要

本发明公开了一种超精密气浮定位平台，包括水平底座、设在底座上的滑台，用于支撑滑台的立柱，用于驱动滑台的直线电机，以及固定在底座一侧且沿滑台移动方向延伸的竖直侧板，直线电机的定子固定在底座上，直线电机的动子与滑台的底面固定连接，立柱固定在滑台的底面，且立柱底部安装有用于产生正压以使滑台垂直悬浮的正压空气轴承，滑台靠近所述侧板的一侧固定有用于保证其沿侧板延伸方向移动的正负压空气轴承；本发明提供的超精密气浮定位平台，结构简单，加工方便，承载能力强，滑台体积较小，通过正负压空气轴承即保证了移动方向又可产生气膜间隙，能够实现滑台的高速度、高精密定位运行。

主权项

一种超精密气浮定位平台，其特征在于，包括水平底座、设在所述底座上的滑台，用于支撑所述滑台的立柱，用于驱动所述滑台的直线电机，以及固定在所述底座一侧且沿所述滑台移动方向延伸的竖直侧板，所述直线电机的定子固定在所述底座上，所述直线电机的动子与所述滑台的底面固定连接，所述立柱固定在所述滑台的底面，且所述立柱底部安装有用于产生正压以使所述滑台垂直悬浮的正压空气轴承，所述滑台靠近所述侧板的一侧固定有用于保证其沿所述侧板延伸方向移动的正负压空气轴承。