[发明专利]一种利用金刚线对单晶硅圆棒切割开方的方法

摘要

本发明提供了一种利用金刚线对单晶硅圆棒切割开方的方法，利用金刚石线高速进给对单晶硅圆棒产生切割；该开方方法的具体步骤包括如下步骤：(1)绕线：金刚石通过切割轮和导轮后缠绕成呈井字结构的线网；(2)安装单晶硅圆棒：将单晶硅圆棒安装到工作台上，金刚石切割线在单晶硅圆棒和位于其前后左右的导向轮之间形成了一个张角；(3)设定参数：根据单晶硅圆棒的直径设定线张力、进给速度、新线进给量；(4)切割：金刚石切割线与待切割的单晶硅圆棒的相对运动，使切割不断地进行；(5)切割完成，程序结束。本发明的优点在于：进给速度得以提高，新线进给量减少，钢线消耗量减少，且开方后准方棒质量处于受控状态。

主权项

1.一种利用金刚线对单晶硅圆棒切割开方的方法，其特征在于，利用金刚石线高速进给对单晶硅圆棒产生切割；单晶硅圆棒的规格尺寸：直径216±3mm，长度；根据拼棒要求确定长度；所述金刚石切割线为：基体是直径为0.39～0.42mm的高碳钢丝，基体上嵌布有粒径为40～50um的金刚石颗粒；该开方方法的具体步骤如下：(1)绕线：金刚石切割线自绕线筒伸出，绕设在错开布置的张紧轮上，又通过切割轮和导轮后缠绕成呈井字结构的线网，在电机驱动下，带动切割轮转动，切割轮再带动切割线运动，切割线再带动导轮转动，从而通过金刚石线将所有导轮联系起来，切割轮、导轮和切割线便快速运转；(2)安装单晶硅圆棒：将单晶硅圆棒安装到工作台上，金刚石切割线在单晶硅圆棒和位于其前后左右的导向轮之间形成了一个张角；(3)设定参数：根据单晶硅圆棒的直径设定，线张力105N，进给速度为0.9～1.1mm/min，新线进给量8～10m/min；(4)切割：高速旋转并往复回转的绕线筒带动金刚石切割线做往复运动，金刚石切割线被张紧轮所张紧，同时加设导向轮以确保切割精度和面型；金刚石切割线在单晶硅圆棒和导向轮之间形成了一个张角，金刚石线成弧状，因此在单晶硅圆棒上施加切割力，金刚石切割线与待切割的单晶硅圆棒产生相对运动，使切割不断地进行；(5)切割完成，程序结束。