[发明专利]一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置在审
申请号: | 201710598974.8 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN107268072A | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 刘朝轩 | 申请(专利权)人: | 洛阳金诺机械工程有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/32;C30B29/06 |
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地址: | 471000 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置,涉及人工晶体领域,本发明通过在料盘(7)下方的上炉室(6)的侧壁上设置取料板(9),在取料板上设置复数个取料工位(2),在料盘上设置复数个放料工位(8),本发明在不改变炉室大小的情况下,可以一炉次拉制更多组硅芯,即节约了硅芯炉的制造成本,又降低了硅芯炉的使用成本,本发明具有结构简单,操作方便等特点,适合大范围的推广和应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 硅芯炉 硅芯取放料 装置 | ||
【主权项】:
一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置,包括料盘连接轴(1)、籽晶夹头(5)、料盘(7)、取料板(9)和伸缩机构(10),其特征是:所述料盘(7)设置在上炉室(6)内,在料盘(7)的中部设有料盘连接轴(1),所述料盘连接轴(1)的上端连接设置在上炉室(6)上端面的料盘旋转机构,在料盘(7)上设有复数个放料工位(8),在料盘(7)的左端设有软轴(3),所述软轴(3)的上端连接设置在上炉室(6)上端面的升降机构,软轴(3)的下端连接机械手(4),在所述机械手(4)的下面设有籽晶夹头(5),在料盘(7)下方上炉室(6)的侧壁上设有伸缩机构(10),所述伸缩机构(10)的伸缩杆连接取料板(9),在所述取料板(9)的上面间隔设有复数个取料工位(2),在每个取料工位(2)上分别设有籽晶夹头(5)形成所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置。
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