[发明专利]形状测量设备的控制方法

摘要

本发明涉及一种形状测量设备的控制方法。根据合成速度矢量V来生成扫描测量中的探测器移位指令：V＝Gf·Vf+Ge·Ve+sg(p)·Gc·Vc2其中：Vf是探测器沿着扫描路径移位所沿着的矢量；Ve是使探测器的向着工件的压入量维持于标准压入量的矢量。Vc2由(Vc1·q)q来表示，Vc1是在校正探测器位置使得触针头沿着扫描轨道取向的方向上的矢量，q是由工件的表面的法线与Vf的外积给出的矢量。将被测面的法线方向指定为Nw，p是Vc和Nw的内积，并且sg(p)是根据p的值而返回+1或‑1的函数。

主权项

一种形状测量设备的控制方法，所述形状测量设备包括：探测器，其远端具有触针头；以及移位机构，用于使所述探测器移位，所述形状测量设备用于检测所述触针头和工件的表面之间的接触并测量所述工件的形状，所述控制方法包括以下步骤：基于所述工件的设计数据来求出所述触针头移位所沿着的扫描路径；在控制所述探测器向着所述工件的压入量以维持标准压入量的同时，使所述触针头沿着所述扫描路径移位；以及经由所述形状测量设备的运动控制器，根据合成速度矢量V来生成探测器移位指令，其中所述合成速度矢量V通过以下等式来表示：合成速度矢量V＝Gf·Vf+Ge·Ve+sg(p)·Gc·Vc2其中，路径速度矢量Vf是所述探测器沿着所述扫描路径移位的矢量，压入校正矢量Ve是将所述探测器向着所述工件的压入量维持于所述标准压入量所用的矢量，第二轨道校正矢量Vc2由(Vc1·q)q来表示，第一轨道校正矢量Vc1是对探测器位置进行校正使得所述触针头沿着扫描轨道取向的方向上的矢量，轨道校正方向矢量q是由所述工件的表面的法线与所述路径速度矢量Vf的外积给出的矢量，在基于所述工件的设计数据所计算出的被测面的法线方向被定义为标称的法线方向矢量Nw的情况下，p是所述第二轨道校正矢量Vc2和标称的法线方向矢量Nw的内积，并且数学符号确定函数sg(p)是根据p的值而返回+1或‑1的函数，以及Gf、Ge和Gc各自是预定系数。