[发明专利]裸眼3D光栅及制备方法在审
申请号: | 201710575282.1 | 申请日: | 2017-07-14 |
公开(公告)号: | CN107329278A | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 蓝永贵;江涛;贾文;刘为乐;翟健文;曹建强 | 申请(专利权)人: | 宜昌南玻显示器件有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
主分类号: | G02B27/22 | 分类号: | G02B27/22;G02B5/18 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所42103 | 代理人: | 黎泽洲 |
地址: | 443000 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种裸眼3D光栅,包括基层,在基层的一面设有低反射层或高反射层,低反射层或高反射层上方设有高反射层或低反射层,高反射层和低反射层为光栅结构。制备方法,包括以下步骤在真空状态下,在磁控溅射设备中,以Mo靶作为靶材,通入氧气,制备低反射层;Al靶或Ag靶作为靶材,通入氩气,制备高反射层;刻蚀光栅;通过以上步骤实现裸眼3D光栅的制备。本发明能够一次生产两种反射属性相反的膜层,其中低反射层的反射率小于20%以下,高反射层的反射率大于70%以上,一次完成裸眼3D光栅制备。本发明能够采用更为廉价的普通玻璃基板,普通玻璃基板的光罩和普通精度的光罩,无需考虑两次曝光的图形的光罩套合问题,并将制备工序减少一道。 | ||
搜索关键词: | 裸眼 光栅 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种裸眼3D光栅,包括基层(101),其特征是:在基层(101)的一面设有低反射层(102),低反射层(102)上方设有高反射层(103),至少高反射层(103)为光栅结构。
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