[发明专利]具有高抗冲蚀性能的梯度多层复合涂层结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201710572256.3 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107326361B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 张虹虹;何卫锋;李应红;何光宇;廖斌;杨竹芳 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/48;C23C14/54;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人： | 黄耀钧 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了具有高抗砂尘冲蚀性能的梯度多层复合涂层结构，所述涂层结构集离子注入结构、梯度结构和多层结构于一体，从基体到涂层表面依次含有离子注入结合层以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层和TiN→Ti梯度层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述复合涂层结构的制备方法：采用金属真空蒸汽离子源注入方法在基体表面进行离子注入，形成离子注入结合层；在结合层之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法，通过连续控制输入的N |
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| 搜索关键词： | 具有 冲蚀 性能 梯度 多层 复合 涂层 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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