[发明专利]一种高致密石英坩埚阻挡层制备方法和多晶铸锭炉在审
| 申请号： | 201710566494.3 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN107299392A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;肖贵云;姜志兴;李林东;李亮;闫灯周;黄晶晶;吕锦滇;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/021 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英坩埚制备方法，包括步骤1，在坩埚主体的内壁喷涂纯度大于7N的高纯石英砂层；步骤2，在所述高纯石英砂层上设置钝化层。除此之外，本发明还公开了一种多晶铸锭炉，包括如上所述石英坩埚制备方法制成的石英坩埚。所述多晶铸锭炉以及石英坩埚制备方法，通过在坩埚主体的内壁喷涂7N的高纯石英砂层，然后再设置钝化层，不需要经过煅烧直接用于铸锭，高纯石英砂在常温时即可很好的依附在坩埚主体内壁且也可以让钝化层很好的依附在石英砂层之上，在1200℃的时候，该石英砂层熔融后会形成一层高致密的玻璃态非晶膜，这样更好的阻隔石英坩埚与硅料的接触，进一步减少石英坩埚中的氧和金属杂质进入硅中，这样就能够提高多晶硅的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致密 石英 坩埚 阻挡 制备 方法 多晶 铸锭 | ||
【主权项】：
一种石英坩埚制备方法，其特征在于，包括：步骤1，在坩埚主体的内壁喷涂纯度大于7N的高纯石英砂层；步骤2，在所述高纯石英砂层上设置钝化层。
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