[发明专利]用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途在审
| 申请号： | 201710533183.7 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN107235642A | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 井治;刘锐;王程;张超群;葛治亮;王贝 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/06;C03C17/23 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 张新鑫,许亦琳 |
| 地址： | 200063 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其应用，所述镀膜段至少包括若干隔离腔室、传输单元、气体隔离单元，阴极靶材、抽真空单元、以及冷却单元；每个隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部设置可打开的盖板，每个盖板大小和形状一致；每个所述隔离腔室的内部设置气体隔离单元或者阴极靶材；所述传输单元设置在隔离腔室内的下方且贯通所有隔离腔室；每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空装置；安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元。本发明中的工艺布置可以满足多种单、双银产品的生产；生产不同的产品，靶材位置需要变动时，可以简便、及时的变动；未来产品更新换代，需预留一定的工艺升级空间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 镀膜 玻璃 及其 用途 | ||
【主权项】：
一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于，所述镀膜段至少包括：若干隔离腔室、传输单元、气体隔离单元，阴极靶材、抽真空单元、以及冷却单元；每个所述隔离腔室依次连接，每个所述隔离腔室的顶部设置可打开的盖板，每个所述盖板大小和形状一致；每个所述隔离腔室的内部设置气体隔离单元或者阴极靶材；所述传输单元设置在所述隔离腔室内的下部且贯通所有隔离腔室；每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空装置；安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国建材国际工程集团有限公司，未经中国建材国际工程集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710533183.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低电压低功耗高增益窄带低噪声放大器
- 下一篇：光耦放大器电路
