[发明专利]加热装置

摘要

本揭露有关于一种加热装置。此加热装置包含承载平台及复合加热环。此承载平台是用以承载晶圆，且复合加热环设置于承载平台及晶圆之间。其中，复合加热环是沿着晶圆的边缘延伸。此复合加热环包含第一加热环及第二加热环。第一加热环的底面直接接触承载平台的承载面，且第一加热环具有阶梯状结构。第二加热环设置于阶梯状结构的开口中，且第二加热环的顶面直接接触晶圆的底面。

主权项

1.一种加热装置，其特征在于，该加热装置包含：一承载平台，具有一承载面，且该承载平台是用以承载一晶圆；以及一复合加热环，设于该承载平台及该晶圆之间，且该复合加热环沿着该晶圆的一边缘延伸，其中该复合加热环包含：一第一加热环，该第一加热环的一底面直接接触该承载面，且该第一加热环具有一阶梯状结构，其中该阶梯状结构的一开口朝向该晶圆的该边缘，且该第一加热环具有一第一熔点；以及一第二加热环，设于该开口中，其中该第二加热环的一顶面直接接触该晶圆的一晶圆底面，该第二加热环具有一第二熔点，且该第二熔点是大于该第一熔点。