[发明专利]一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构

摘要

本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接，本结构不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测，无需外接匹配电容，匹配性更好，可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。

主权项

一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，其特征在于，所述结构包括：第一质量块(1)、第二质量块(2)、第三质量块(3)、检测电容C1、C2、C3、C4，第一质量块(1)和第二质量块(2)均与第三质量块(3)连接，第三质量块(3)对第一质量块(1)和第二质量块(2)进行电气隔离，第一质量块(1)接电压信号V1，第二质量块(2)接电压信号V2，V1＝‑V2，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块(1)连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块(2)连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接。