[发明专利]离子注入量调节装置及方法、离子注入设备、判断方法在审
| 申请号： | 201710483558.3 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107195518A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 经好;姜东佑;傅永义;刘晨亮;李儒健;罗康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/05;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子注入量调节装置，包括调节件，用于开启和关闭离子注入设备的离子出口；驱动结构，用于控制所述调节件运动以调节离子出口的开口度。本发明的有益效果是可以灵活调节离子注入量。本发明还涉及一种离子注入设备、离子注入量调节方法、判断方法。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 调节 装置 方法 设备 判断 | ||
【主权项】：
一种离子注入量调节装置，应用于离子注入设备，其特征在于，包括：调节件，用于开启和关闭离子出口；驱动结构，用于控制所述调节件运动以调节离子出口的开口度。
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