[发明专利]一种光控太赫兹空间外部相位调制器

摘要

本发明提供了一种光控太赫兹空间外部相位调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明是由半导体衬底、人工微结构以及可控动态开关构成，通过施加外部光诱导，改变开关材料的电导率和介电常数，由此改变人工微结构的电磁谐振模式，从而对太赫兹波实现相位调制。本发明提供的相位调制器可以在大带宽内实现100度以上的相位调制深度以及超过150度的最大相位调制能力；可通过微细加工技术实现，制备工艺成熟可靠；实现了半导体材料与人工微结构阵列相结合的动态相控器件，其开关材料可选用多种高性能半导体材料，有多种调控方式可选，在太赫兹无线通信、太赫兹波谱技术、太赫兹安检成像等领域具有很好的实际应用价值。

主权项

1.一种光控太赫兹空间外部相位调制器，其特征在于，包括半导体衬底(1)和人工微结构谐振阵列(2)；所述人工微结构谐振阵列(2)位于半导体衬底(1)的上表面；所述人工微结构谐振阵列(2)由周期性分布的动态电磁谐振单元组成，每一个电磁谐振单元包括人工微结构(3)和可控动态开关(4)；所述人工微结构(3)由一个“工”形结构和一个开口圆环结构重叠构成；所述“工”形结构的两根横向枝节长度相同，纵向枝节连接两根横向枝节的中心；所述圆环结构有左右两个大小相同的开口，且开口中心与圆环圆心位于同一水平直线上；所述圆环圆心与所述“工”形结构纵向枝节的中心重合；所述可控动态开关(4)镶嵌于人工微结构(3)中；所述可控动态开关(4)嵌套于人工微结构(3)中金属圆环开口位置，与开口处上下金属线条相衔接。