[发明专利]具有高度对称四重式气体注入的等离子体反应器有效
| 申请号： | 201710469815.8 | 申请日： | 2014-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN107221487B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | Y·罗森佐恩;K·坦蒂翁;I·优素福;V·克尼亚齐克;S·巴纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种等离子体反应器的环形盖板具有上层及下层气体分配通道，该等气体分配通道沿着相等长度路径从气体供应接线分配气体至顶部气体喷嘴的各自的气体分配通道。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高度 对称 四重式 气体 注入 等离子体 反应器 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体反应器的环形盖板，所述环形盖板包含：第一组及第二组气体出口，所述第一组及第二组气体出口的每一者中的所述气体出口间隔第一弧长；气体传输块，所述气体传输块包含第一及第二气体供应通路；第一组及第二组气体分配通道，在各自的上位准及下位准中，使得所述第一组及第二组气体分配通道彼此有所覆盖，所述第一组及第二组气体分配通道中的每一者包含：弧形气体传输通道，所述弧形气体传输通道具有连接至一对相对应的所述气体出口的一对端部；以及弧形气体供应通道，所述弧形气体供应通道包含连接至所述第一及第二气体供应通路的相对应的一者的输入端，及耦合至所述弧形气体传输通道的中间区的输出端。
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