[发明专利]金刚砂线切割液在审
申请号: | 201710461362.4 | 申请日: | 2017-06-19 |
公开(公告)号: | CN107325875A | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 刘亚芬 | 申请(专利权)人: | 辽宁前程化工有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/06;C10N30/12;C10N30/04 |
代理公司: | 北京市东方至睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11485 | 代理人: | 史惠莉 |
地址: | 111000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于金刚砂线切割单晶硅、多晶硅等非金属脆硬材料的切割液。主要是为解决利用现有的金刚砂切割液切割后的硅片表面TTV大、有线痕、洁净度低的问题而发明的。所述的金刚砂线切割液由如下成分组成脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有机硅消泡剂、蒸馏水。生产过程将搅拌罐用蒸馏水反复冲洗,将各原料送入搅拌罐中,边送料边搅拌,完成送料后再搅拌20分钟;搅拌后的物料用泵送至白钢网处进行加压破碎过滤,得到产品。优点是切割后的硅片表面TTV小、无线痕、洁净度高。 | ||
搜索关键词: | 金刚砂 切割 | ||
【主权项】:
金刚砂线切割液,其特征是:由如下成分组成:脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有机硅消泡剂、蒸馏水;其中脂肪醇占总重量的55%,聚丙二醇占总重量的2.5%、聚氧乙烯占总重量的5%、聚氧丙烯醚占总重量的3%、有机硅消泡剂占总重量的20%、蒸馏水占总重量的14.5%;生产过程:将搅拌罐用蒸馏水反复冲洗,将按所述的重量百分比称好的各原料送入搅拌罐中,边送料边搅拌,完成送料后再搅拌20分钟;搅拌后的物料用泵送至白钢网处进行加压破碎过滤,得到产品。
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