[发明专利]一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置有效
| 申请号： | 201710452017.4 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN107322368B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 赵友;赵玉龙;葛晓慧;李莹雪;张琪;李村;刘明杰;赵云 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23Q17/09 | 分类号： | B23Q17/09 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置，在刀片和刀垫之间设有切削力测量单元，切削力测量单元的形状、尺寸与刀片、刀垫匹配，切削力测量单元为三明治结构，分别为上、下氧化铝绝缘层和中间器件层，中间器件层的内部集成有基于锰铜合金材料的敏感电阻，铜电极和引线电路的一端与基于锰铜合金材料的敏感电阻连通，另一端与切削力测量单元侧面的金属焊盘连通，从而使基于锰铜合金材料的敏感电阻与信号处理电路中的固定电阻连接构成惠斯通测量电桥，切削力测量单元采用MEMS技术进行加工，本发明具有兼容性好、通用性强、测量精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 铜合金 敏感 单元 切削力 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置，包括刀杆(9)，其特征在于：刀杆(9)的前端从上向下依次装有刀片(3)、切削力测量单元(5)、刀垫(4)，刀片(3)、切削力测量单元(5)、刀垫(4)通过压板(2)及刀片紧固螺钉(1)固定在刀杆(9)上，切削力测量单元(5)的信号输出端和信号处理电路(8)的信号输入端连接，信号处理电路(8)的信号输出端和信号采集设备(12)的信号输入端连接，信号采集设备(12)的信号输出端和数据存储和分析系统(13)的信号输入端连接；所述的切削力测量单元(5)的形状、尺寸与刀片(3)、刀垫(4)匹配，在切削力测量单元(5)的中间有一个圆柱状通孔(14)；切削力测量单元(5)为三明治结构，分别为上、下氧化铝绝缘层(15)和中间器件层(16)，中间器件层(16)的内部集成有基于锰铜合金材料的敏感电阻(17)，铜电极(18)以及引线电路(19)的一端与基于锰铜合金材料的敏感电阻(17)连通，另一端与切削力测量单元(5)侧面的金属焊盘(20)连通，从而使基于锰铜合金材料的敏感电阻(17)与信号处理电路(8)中的固定电阻连接构成惠斯通测量电桥。
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