[发明专利]多路生物传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种多路生物传感器及其制造方法，其中，多路生物传感器，包括衬底、电极系统、盖片板以及Ⅲ‑Ⅴ族氮化物的晶体管阵列；衬底包裹晶体管阵列；电极系统连接晶体管阵列；盖片板设置在衬底上方，盖片板中设有供口部和沟道；供口部设置在盖片板表面与沟道连接；晶体管阵列包括若干晶体管，每个晶体管的栅极表面具有经功能化处理得到的功能化层，源极和漏极之间裸露的栅极区域形成传感区域，传感区域与沟道重合；每个晶体管的功能化层与由供口部进入沟道内的待检测样品中的特定成分接触，对特定成分进行识别及浓度检测。本发明制作简单、检测灵敏度高、实现自动进行并行检测，不仅节省样品用量，而且提高检测效率，降低检测成本。

主权项

一种多路生物传感器，其特征在于，包括：衬底、电极系统、盖片板以及Ⅲ‑Ⅴ族氮化物的晶体管阵列；所述衬底，包裹所述晶体管阵列；所述电极系统，设置在所述衬底上，连接所述晶体管阵列；所述盖片板，设置在所述衬底上方，所述盖片板中设有供口部和沟道；所述供口部设置在所述盖片板表面，与所述沟道连接，用于将待检测样品导入所述沟道内；所述晶体管阵列包括若干晶体管；所述晶体管分布于所述衬底内，每个所述晶体管的源极和漏极均设置在所述晶体管的顶层均与所述电极系统连接；每个所述晶体管的栅极表面具有经功能化处理得到的功能化层，所述源极和漏极之间裸露的栅极区域形成传感区域，所述传感区域与所述沟道重合；每个所述晶体管的所述功能化层与由所述供口部进入所述沟道内的待检测样品中的特定成分接触，对特定成分进行识别及浓度检测。