[发明专利]真空控制阀

摘要

本发明涉及真空控制阀。真空控制阀具有阀座，包括限定开口轴线的阀开口和围绕开口并限定第一密封平面的第一密封表面；带对应于第一密封表面且限定第二密封平面的第二密封表面的阀盘；第一联接元件，连接到阀盘且包括接纳装置，用于提供阀盘的受控引导；驱动单元，与第一联接元件联接且构造为使阀盘能从打开位置调整到关闭位置并返回，在打开位置阀盘和阀座彼此以无接触方式存在，在关闭位置第二密封表面借助密封件压靠第一密封表面。驱动单元和阀盘构造和相互作用，使得阀盘能调整到精细控制位置，其中阀盘相对于阀座以限定方式倾斜，使得第一和第二密封平面围成限定角度，密封件充分紧靠一个密封表面且仅部分紧靠另一个。

主权项

一种真空阀(10、20、30、40)，特别是真空控制阀，所述真空阀(10、20、30、40)用于控制体积流或质量流并且用于以气密方式中断流路，所述真空阀(10、20、30、40)具有·阀座(12、22、32、42)，所述阀座(12、22、32、42)包括限定开口轴线(A)的阀开口(16、26、36、46)、以及围绕所述阀开口(16、26、36、46)并且限定第一密封平面(ES)的第一密封表面(13、23、33)，·阀盘(11、21、31、41)，所述阀盘(11、21、31、41)用于控制所述体积流或质量流并且用于中断所述流路，具有对应于所述第一密封表面(13、23、33)的第二密封表面(14、24)，其中，所述第二密封表面(14、24)限定第二密封平面(ET)，所述阀盘(11、21、31、41)的可变化的位置通过所述阀盘(11、21、31、41)的相应的位置和对准来确定，·第一联接元件(38、48)，所述第一联接元件(38、48)连接到所述阀盘(11、21、31、41)并且包括接纳装置，用于提供所述阀盘(11、21、31、41)的受控引导，以及·驱动单元(39、49)，所述驱动单元(39、49)与所述第一联接元件(38、48)联接，特别地借助于所述接纳装置，并且构造为使得所述阀盘(11、21、31、41)能在纵向关闭方向上至少基本上沿着几何纵向轴线从打开位置调整到关闭位置并且返回，o在所述打开位置中，所述阀盘(11、21、31、41)和所述阀座(12、22、32、42)相对于彼此以无接触方式存在，o在所述关闭位置中，由于位于所述第一密封表面(13、23、33)与所述第二密封表面(14、24)之间的密封件(15、25、35、45)而在所述第一密封表面(13、23、33)与所述第二密封表面(14、24)之间存在轴向密封接触，并且所述阀开口(16、26、36、46)因此以气密方式关闭，其特征在于所述驱动单元(39、49)和所述阀盘(11、21、31、41)如此构造和相互作用，特别是如此联接，使得所述阀盘(11、21、31、41)能调整到精细控制位置，其中·所述阀盘(11、21、31、41)相对于所述阀座(12、22、32、42)以限定方式倾斜，使得所述第一密封平面(ES)和所述第二密封平面(ET)围成限定角度(α)，并且·所述密封件(15、25、35、45)充分地紧靠所述第一密封表面(13、23、33)或所述第二密封表面(14、24)并且仅部分地紧靠相应的另一个密封表面(13、23、33、14、24)。